Bas prix de l′économie petite machine de nettoyage de plasma avec pompe à vide

• Demande: Industrie textile
• Médias nettoyage: Nettoyage à sec
• Automation: Automatique
• Nettoyage de précision: Nettoyage industriel général
• Contrôle: PLC
• Principe: Nettoyage physique
• N° de Modèle.: CY-EQ-PCE-6
• Certificat: CE, TUV
• État: Nouveau
• Personnalisé: Personnalisé
• Caractéristique: Économie d′énergie
• chambre à plasma: chambre à quartz
• panneau de commande: écran tactile
• Paquet de Transport: Wooden Box
• Spécifications: Dia. 160x190mm
• Marque Déposée: CY
• Origine: Zhengzhou, China
• Code SH: 85141090
• Capacité de Production: 210 Sets Per Month

Description de Produit

Nettoyeur de plasma de taille moyenne avec pompe à vide , 6"Dx 6.5" L ( 3 litre) Chambre de quartz 13,56 Mhz, 30W max. - EQ-PCE-6
 
EQ-PCE-6 plasmatique moyenne est nettoyant avec 6" de diamètre x 6,5"Longueur chambre quartz.  Il est conçu pour nettoyer et enlever la nano-échelle de la contamination organique sur le substrat ou de plaquette jusqu'à 4 " utilisant l'air, oxygène, ou l'argon plasma. Le taux de composés organiques de la dépose est environ 20 nm/min maximum à haute puissance RF. Il est un excellent outil de pré-nettoyage de substrat un cristal unique avant le dépôt de film épitaxiale pour atteindre la meilleure qualité.
 

Puissance d'entrée	AC 220V, 50/60 Hz La puissance RF :  100 W max. Pompe à vide : < 500 W Puissance totale :  < 600 W
La puissance RF	La puissance RF (haute tension et courant à haute fréquence appliquée sur la bobine) est réglable à trois niveaux : faible Réglage 7.2W; paramètre Moyen 10.2W ; réglage élevé 30W  13,56 MHz de fréquence RF :
Panneau de commande	Fonction de contrôle : Nettoyer de temps, la puissance RF, pompe à vide.
Chambre de plasma	6 pouces de diamètre x 6,5 po de longueur chambre quartz 3 litre de cylindrée Type à charnière porte avec fenêtre de visualisation pour le chargement de l'échantillon et d'observation facile
Pompe à vide	Une seule étape de la pompe à vide rotative à ailettes (220V,187 l/m ) avec filtre d'échappement et tuyau de dépression sont inclus pour l'équipement (220V).
Gaz inerte	De nombreux gaz inertes peuvent être choisis pour le nettoyage au plasma , comme le N2, Ar, l'air et gaz mixte dépend de quel genre de matériel seront traités. ( Non inclus dans le paquet) Pas de gaz inflammable doivent être utilisés pour le plasma cleaner
En option	Combinaisons de PCE-6 nettoyeur de plasma de mélangeur de gaz à deux canaux sera une solution pour le processus d'introduire jusqu'à deux gaz. L'ordre nettoyant plasma avec le mélangeur de gaz à deux canaux à partir d'options de produit ou cliquez sur l'image à gauche pour mélangeur de gaz à deux canaux. Si l'utilisation galette de bateau de quartz de 4", le nettoyage peut traiter 25 PCS 2" de dia wafer par charge
Dimensions	400mm L ×300mm W ×300mm H 16" x 12" x 12" (pouces)
poids net	30 lbs
Poids et dimensions d'expédition	140 lbs 40"x30"x23"
La garantie	Garantie limitée de un an avec assistance à vie ( aucune garantie pour la chambre en verre Pyrex )
Note d'application :	Une pression positive peut endommager le quartz de Plasma Chambre.