PE-plasma Hpcvd Enhanced Dépôt de vapeur chimique physique hybride fourneau pour Lab

• Application: Industrie, École, Laboratoire
• Customized: Customized
• certificat: CE
• Structure: bureau
• Matériel: Acier inoxydable
• Type: Tubular Furnace
• N° de Modèle.: CY-PE-HPCVD
• méthode de refroidissement de l′alimentation rf: refroidissement par air
• zone de chauffage: zone de chauffage simple 200 mm
• précision de la température: +-1c
• matériau du tube du four: quartz haute pureté
• taille du tube du four: dia. 50*1200mm
• vitesse réglable: 0-20rpm
• Paquet de Transport: Standard Export Wooden Packaging
• Marque Déposée: CYKY
• Origine: Zhengzhou Henan China
• Code SH: 8401200000
• Capacité de Production: 200 Sets Per Month

Description de Produit

PE-plasma HPCVD Enhanced DéPôT de vapeur chimique physique hybride fourneau pour Lab  

Ce produit est un hybride de plasma 1200ºC enhanced DéPôT de vapeur chimique physique (HPCVD) Zone de chauffage tube rotatif double systèMe de four.L'éQuipement comprend une zone de chauffage tube double four, un ensemble de filament de tungstèNe source d'éVaporation, un ensemble de géNéRateur de plasma et un ensemble de déBitmèTre massique du systèMe.Son principe de fonctionnement est de s'éVaporer le réActif àLa fin d'admission de gaz par le biais de la source d'éVaporation et de le charger dans la zone de chauffage du tube four par le biais de l'air d'effectuer de la CVD réAction.En mêMe temps, la réAction est promu par le plasma d'améLioration.Il est appropriéPour le traitement thermique des composéS inorganiques de poudre composite et de l'uniformitéDe revêTement de surface (p.Ex.PréParer les poudres àCathode de batterie Li-Ion avec revêTements conductrices sur un éChantillon de surface).

ParamèTres techniques :

Deux four zone chauffage tube	ModèLe de produit	CY-O1200-50ITI
	MatéRiau du tube de four	Le quartz de haute pureté
	DiamèTre du tube	50mm
	Longueur du tube de four	1200mm
	Chambre du four longueur	440mm
	Longueur de la zone de chauffage	200mm+200mm
	La tempéRature de fonctionnement	0~1100ºC
	PréCision de contrôLe de tempéRature	±1 °C
	Mode de commande de tempéRature	30 ou 50 programme de segment de la commande de tempéRature
	Mode d'affichage	HD plein éCran tactile LCD couleur
	MéThode d'éTanchéIté	Bride de vide en acier inoxydable 304
	L'alimentation	AC :2.5KW 220V 50/60 Hz
SystèMe de sortie RF	Gamme de puissance	0~500W réGlable
	FréQuence de travail	13.56MHz+0.005 %
	Mode de travail	Sortie continue
	Mode d'impéDance appariéEs	Il peut êTre appariéS et les bougies est réPartie uniforméMent tout au long de la fournaise tube
	StabilitéD'alimentation	≤2 W
	Puissance réFléChie de normales de travail	≤3W
	AmplifiéLa puissance réFléChie	≤70W
	Composante harmonique	≤-50 dBc
	L'efficacitéGlobale	≥70 %
	Le facteur de puissance	≥90 %
	Tension d'alimentation/fréQuence	Une seule phase AC (187V~153V) fréQuence 50/60 Hz
	Mode de contrôLe	Le contrôLe interne/PLC QuantitéAnalogique/communication RS-232/485
	Les paramèTres de protection de l'alimentation	DC protection contre les surintensitéS, amplificateur de puissance au cours de la protection de la tempéRature, la puissance réFléChie de la protection
	MéThode de refroidissement	Refroidissement par air forcé
	Zone de préChauffage	En vertu de Ar, la fréQuence radio et la bobine d'alimentation coopéRer avec les bougies pour remplir le tube de four
Bateau d'éVaporation	La tempéRature de fonctionnement	1300ºC
	Source d'éVaporation	Ordinateur de poche Tungsten Panier en fil, creuset de l'alumine conique en option
	Le thermocouple	Thermocouple de type S
	Courant de travail	≤30A
	Puissance max.	500W
SystèMe de distribution de gaz	Le déBitmèTre	Quatre canaux déBitmèTre massique
	Plage de déBit	Le MFC1 gamme :0~200sccm MFC2 gamme :0~200sccm Le MFC3 gamme :0~500sccm MFC4 gamme :0~500sccm Correspondant àDes gaz H2, CH4, N2, Ar.
	La préCision de mesure	±1,5%F.S
	RéPéTabilité	±0,2%FS
	PréCision linéAire	±1%F.S.
	Le temps de réPonse	≤4s
	Le travail sous pression	-0.15Mpa~0.15Mpa
	Le contrôLe de flux	ContrôLe d'éCran tactile LCD, affichage numéRique, chaque canal gaz contient la soupape àPointeau pour contrôLer individuellement.
	Interface d'admission	Il peut êTre connectéAvec 1/4NPS ou 6 mm de diamèTre extéRieur du tuyau en acier inoxydable
	Interface de sortie	Il peut êTre connectéAvec 1/4NPS ou 6 mm de diamèTre extéRieur du tuyau en acier inoxydable
	La méThode de connexion	Connecteur double féRule
	La tempéRature de fonctionnement	5~45ºC
	Le préMéLange de gaz	ÉQuipéD'premixing terminal de gaz
SystèMe d'éChappement	ModèLe de produit	CY-GZK103-A
	Pompe moléCulaire	Pompe Turbomolecular
	La pompe d'appui	En deux éTapes de la pompe rotative àAilettes
	Taux de pompage	Pompe moléCulaire :600L/s	Le pompage de la performance globale :30 minutes vide peut atteindre :5×10E-3Pa
		Pompe rotative àAilettes :1,1 l/s
	Le vide absolu	5×10E-4Pa
	Port de pompage	KF40
	Interface d'éChappement	KF16
	Mesure de déPression	Jauge de vide composé

Photos de PECVD four :






FondéE en 2005, Zhengzhou CY Instrument scientifique Co., Ltd.Est une sociéTéSpéCialiséE dans le déVeloppement et la production de matéRiel de recherche en technologie de laboratoire.Les produits sont méLangéS, pressé, brûLé, couper la masse, polis, revêTus, matéRiel d'analyse et des consommables.Produits comprennent des éQuipements de frittage de laboratoire, de revêTement de matéRiel et ainsi de suite.ÀPréSent, il a éTéExportéVers 25 pays et réGions telles que les ÉTats-Unis, en Europe et Asie du Sud-Est, et a éTéBien reçUe par diverses unitéS de recherche scientifique.

Nous avons une technologie mature de l'éQuipe de recherche et déVeloppement, le nombre de techniciens est 33, la compagnie a 150 personnes, plus de 500 mèTres carréS de bureaux de l'espace, l'usine couvre une superficie d'environ 1500 mèTres carréS situéàZhengzhou high-tech de la zone du parc industriel éLectronique.Les produits sont principalement situéS dans le marchéDe la recherche, au service de la recherche scientifique dans les laboratoires des universitéS et collèGes, et peuvent éGalement personnaliser les produits selon vos besoins.





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