Dépôt de vapeur chimique amélioré par plasma PECVD pour silicium amorphe et Films de silicium microcristallin

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Desktop
• N° de Modèle.: CY-PECVD-450
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• méthode de refroidissement de l′alimentation rf: refroidissement par air
• zone de chauffage: zone de chauffage simple 200 mm
• précision de la température: +-1c
• matériau du tube du four: quartz haute pureté
• taille du tube du four: dia. 50*1200mm
• vitesse réglable: 0-20rpm
• Paquet de Transport: Standard Export Wooden Packaging
• Marque Déposée: CYKY
• Origine: Zhengzhou Henan China
• Code SH: 8401200000
• Capacité de Production: 50sets Per Month

Description de Produit

Dépôt de vapeur chimique amélioré par plasma PECVD pour le silicium amorphe et films de silicium microcristallin

Description du produit

 le dépôt chimique en vapeur adopte une technologie de dépôt chimique en vapeur améliorée par plasma, qui peut utiliser du plasma à haute énergie pour promouvoir le processus de réaction, augmenter efficacement la vitesse de réaction et réduire la température de réaction.
Il est adapté au dépôt de couches minces de nitrure de silicium, de silicium amorphe et de silicium microcristallin sur différents substrats tels que le verre optique, le silicium, le quartz et l'acier inoxydable. Il a une bonne qualité de formation de film, moins de trous d'épingle et n'est pas facile à fissurer. Il est adapté à la préparation de dispositifs à cellule solaire à couche mince de silicium amorphe et de silicium microcristallin. Il peut être largement utilisé dans la recherche scientifique et la préparation de petits lots de matériaux à couche mince dans les collèges et universités et les instituts de recherche scientifique.

Paramètres du produit

Alimentation RF	Fréquence du signal	13,56 MHz
	Plage de puissance de sortie	0 À 500 W.
	Puissance réfléchie maximale	100 W.
	Puissance réfléchie (à la puissance maximale)	<5 W.
	Stabilité de puissance	±0.1 %
Chambre de travail	Température de chauffage	RT-1000ºC
	Précision du contrôle de la température	±1 ºC
	Porte-échantillon	Φ200mm
	Vitesse de rotation du barillet	réglable de 1 à 20 tr/min
	Taille de la tête de pulvérisation	Φ90mm
	Distance	La distance entre la tête de pulvérisation et l'échantillon est de 40 mm réglable en continu
	Vide de travail pour le dépôt	133 - 133 Pa (peut être ajustée selon le processus technique)
	Bride	La bride supérieure peut être soulevée par le moteur, le substrat est facile à changer et il y a une fenêtre visuelle
	Chambre	Matériau en acier inoxydable, Φ500mm * 500 mm
	Fenêtre d'observation	Φ100mm, avec déflecteur
Alimentation en gaz système	Numéros de canal	6
	Unité de mesure	Régulateur de débit massique
	Plage de mesure	Un canal : 0~200 SCCM pour H2	Remarques : si d'autres plages sont requises, veuillez les préciser lors de la commande. Selon les exigences spécifiques du client, le débitmètre du type et de la gamme de gaz correspondants est facultatif.
		Canal B : 0 à 200 SCCM pour CH4
		Canal C : 0 à 200 SCCM pour C2H4
		Canal C : 0 à 500 SCCM pour N2
		Canal D : 0~500SCCM pour NH3
		Canal E : 0 à 500 SCCM pour AR
	Précision de mesure	±1.5% F.S
	Différence de pression de service	-0,15 Mpa~0,15 Mpa
	Tuyau de raccordement	acier inoxydable 304
	Canal de gaz	robinet à pointeau en acier inoxydable 304
	Spécification de l'interface	connecteur à embout de 1/4" pour l'entrée et la sortie de gaz
Système de vide	Pompe d'appui	4,7 l/s
	Pompe moléculaire	1 200 l/s.
	Mesure de vide	Jauge de vide composée, plage 10^-5Pa ~ 105Pa
	Degré de vide	5.0*10^-3Pa
Refroidisseur d'eau	Température de l'eau de refroidissement	<=37 ºC
	Débit d'eau	10 l/min
	Puissance	0,1 KW
	Puissance de refroidissement	50 W/ºC
Alimentation		220 V CA 50 Hz

 

Photos détaillées

 

Fondée en 2005, Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. Est une entreprise spécialisée dans le développement et la production d'équipements de recherche en technologie de laboratoire. Les produits sont mélangés, pressés, brûlés, coupés, meulés, équipement analytique poli, revêtu et consommables associés. Les produits incluent l'équipement de frittage de laboratoire, l'équipement de revêtement, etc. À l'heure actuelle, il a été exporté vers 25 pays et régions comme les États-Unis, l'Europe et l'Asie du Sud-est, et a été bien accueilli par diverses unités de recherche scientifique.

Nous avons une équipe de recherche et développement technologique mature, le nombre de techniciens est de 33, la société a 150 personnes, plus de 500 mètres carrés d'espace de bureau, l'usine couvre une zone d'environ 1,500 mètres carrés située dans Zhengzhou High-Tech zone Electronic Industrial Park. Les produits sont principalement situés sur le marché de la recherche, servant la recherche scientifique dans les laboratoires des universités et des collèges, et peuvent également personnaliser les produits selon vos besoins.





Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?
R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons leur propre équipe de conception et leur propre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.

Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?
R. la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?
R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.

Q. Comment payer?
A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser Alibaba Trade Guarantee.

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.

Pour toute question, veuillez contacter le service clientèle