Application: | Industrie, École, Laboratoire |
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Customized: | Customized |
certificat: | CE |
Structure: | bureau |
Matériel: | Acier inoxydable |
Type: | Tubular Furnace |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Zone de chauffage unique Rotary PECVD, éQuipéAvec chargeur automatique de déPression et l'interface KF40 réServéS àLa fin de la fournaise tube peut êTre connectéàLa réCeption de réServoir.Le convoyeur adopte la vis d'alimentation, la poudre peut êTre nourri dans le four tube àUn taux nominal, et le taux d'alimentation peut êTre modifiéE en réGlant la vitesse de rotation.Il peut réAliser le revêTement en continu et la modification de la poudre de matéRiaux par PECVD méThode en vertu de l'atmosphèRe de la protection de l'environnement.La réCeption de réServoir peut collecter la poudre transforméS en vertu de l'atmosphèRe de la protection de l'environnement.
L'éQuipement est éQuipéD'100W Puissance RF à13.56MHz.Il peut géNéRer le plasma dans le vide.Plasma àHaute éNergie peut activer l'éChantillon de surface, de façOn efficace de renforcer l'effet de réAction et d'augmenter le taux de réAction.Cette méThode auxiliaire est largement utiliséDans des expéRiences scientifiques tels que le graphèNe préParation et les particules de revêTement.
Cet éQuipement est particulièRement adaptéPour des expéRiences de l'éChantillon granulaire.Par le biais de la transmission méCanique, il peut contrôLer la rotation continue du tube de travail 360°Avec la vitesse de rotation réGlable, de sorte que les matéRiaux dans le tube sont continuellement brasséEt mixtes, et entièRement en contact avec le gaz et le plasma, de sorte que la réAction de l'éChantillon est plus uniforme et stable.
ParamèTres techniques de PECVD four :
Alimentation de puissance RF | Puissance de sortie | 150W |
La préCision de sortie | ±1 % | |
La fréQuence RF | 13.56MHz | |
La stabilitéRF | ±0,005 % | |
MéThode de refroidissement | Refroidissement air-air | |
1200ºC four unique de zone de chauffage tube | Tension d'alimentation | AC220V,50Hz |
Puissance maximale | 2KW | |
Zone de chauffage | Zone de chauffage unique 200mm | |
La tempéRature de fonctionnement | Un maximum de 1200 ºC, la tempéRature de fonctionnement continu doit êTre ≤1100 ºC | |
PréCision de tempéRature | ±1 ºC | |
MéThode de contrôLe de tempéRature | AI-PID 30 éTapes courbe, peuvent stocker plusieurs Trois de la zone de tempéRature de contrôLe indéPendant, avec une surchauffe et protection contre la déFaillance du thermocouple |
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MatéRiau du tube de four | Le quartz de haute pureté | |
Taille de tube de four | Dia.50x800mm | |
MéThode d'éTanchéIté | Le vide en acier inoxydable, KF16 Bride àBride | |
Vitesse réGlable | 0-20 tr/min | |
La pente | 0-15° | |
Pompe àVide | Pompe méCanique rotative àAilettes | |
Le vide absolu | 1.0E-1Pa | |
MéThode d'alimentation | Entonnoir et la vis d'alimentation vide |
Photos de PECVD four :
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