Service après-vente: | installation et formation gratuites, assistance technique |
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Garantie: | garantie limitée d′un an |
Type: | machine de revêtement sous vide pvd |
Revêtement: | Revêtement sous Vide |
Substrat: | Acier |
Certificat: | CE, ISO |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Mode Dimensions |
HCCA-1215 | HCCA-1612 | HCCA-1619 |
1250*1500mm | 1600*1200mm | 1600*1900mm | |
Mode de revêtement et configuration principale |
Six cibles multi-arc + un ensemble de cibles de colonne + un ensemble de cibles de pulvérisation de magnétron de rectangle de plan | Six cibles multi-arc + une paire de doubles (MF)pulvérisation de magnétron cibles |
Douze cibles multi-arc + deux ensembles de magnétron rectangle de plan Cibles de pulvérisation + une paire de cibles de pulvérisation de magnétron (MF) doubles |
Source d'alimentation | Puissance électrique à l'arc, puissance au magnétron CC, puissance au magnétron MF, puissance au filament, puissance à impulsion, source ionisée linéaire. | ||
Contrôle des gaz de procédé | Débitmètre de qualité + électrovanne céramique | ||
Structure de la chambre à vide | Porte verticale simple (latérale), postposition du système de pompe, double refroidissement par eau | ||
Système de vide | Pompe à molécules +pompe Roots +pompe mécanique(5.0*10 -5 Pa) Pompe à diffusion +pompe Roots +pompe mécanique(5.0*10 -4 Pa) |
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Température de cuisson de la pièce | Température normale jusqu'à un contrôle PID à 350 degrés, chauffage par rayonnement. |
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Mode de mouvement de la pièce | Rotation publique contrôle de fréquence : 0-20 rotations par minute | ||
Mode de mesure | Affichage numérique jauge de vide composite : de l'atmosphère à 1.0*10 -5 Pa | ||
Mode de contrôle | Manuel/automatique/PC/PLC + HMI/PC quatre choix de mode de contrôle | ||
Remarque | Nous pouvons concevoir la dimension de l'équipement en fonction des exigences techniques spéciales du client. |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées