Personnalisation: | Disponible |
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Service après-vente: | installation et formation gratuites , support technique, |
Garantie: | garantie limitée d′un an |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Audité par une agence d'inspection indépendante
Mode | LH-1800 | LH-2000 | LH-3000 | LHW-2000 | LHW-3000 | LHW-4000 | LHW-5000 |
Dimension de chambre de vide | Φ1800x2000 | Φ2000x2000 | Φ3000x3000 | Φ2000x6000 | Φ3000x6000 | Φ4000x8000 | Φ5000x10000 |
Le système de vide | Pompe mécanique de la diffusion de la pompe de racines++pompe/Turbo pompe moléculaire+pompe holding | ||||||
Système de revêtement | Source d'évaporation de l'arc,ion auxiliaire de revêtement alimentation dédiée | ||||||
Système de gonflage | Débitmètre massique | Débitmètre massique | Débitmètre massique | Débitmètre massique | Débitmètre massique | Débitmètre massique | Débitmètre massique |
Mode de contrôle | Manuel ou automatique | Manuel ou automatique | Manuel ou automatique | Manuel ou automatique | Manuel ou automatique | Manuel ou automatique | Manuel ou automatique |
Le vide absolu | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa |
Remarque | Paramètres de machine ci-dessus pour votre référence uniquement aux clients spécifiques selon des exigences spéciales des pratiques de conception de processus. |