Description du produit
Contrôleur de débit massique (MFC) est utilisé pour une mesure précise et le contrôle de débit massique de gaz. Ils jouent un rôle important dans la recherche scientifique et la production dans divers domaines tels que le circuit intégré semi-conducteurs et l'industrie, des matériaux spéciaux de la discipline, l'industrie chimique industrie du pétrole, de la médecine, la protection environnementale, et le vide. Son application typique scénarios comprennent notamment des processus électroniques tels que la diffusion de l'équipement, épitaxie MCV, oxydation, la gravure au plasma, vaporisation, l'implantation ionique; et le revêtement de l'équipement, fibre optique la fonte, de l'appareil microreactor, gaz mixte système de distribution, chromatographe en phase gazeuse capillaire, de mesure et d'autres instruments analytiques.
Le paramètre
Les paramètres de l'hydrogène Cixi d'oxygène thérapeutique contrôleur Débitmètre massique |
Moyennes |
Le gaz |
Plage de débit |
0~5sccm;0~500sccm;100~2000~100slm;L/min |
L'alimentation |
12-24 V |
La sortie |
4~200~5V;mA |
Afficher |
Affichage LCD local ou aucun |
La communication |
RS485/232 |
La précision |
1,0 % |
Différence de pression |
Moins de 0.3Mpa |
Pression max. |
3.0Mpa |
La température |
5~65c |
La connexion |
Connecteur à embouts de 6 mm |
Fonctionnalité
Principe thermique, réponse rapide, haute précision
Détournement tubulaire, pas facilement bloqué
Adapté pour divers basse pression et canalisations haute pression
Dérive du zéro, une haute fiabilité
Entrée/sortie analogique peut être contrôlée et affichée en utilisant un compteur ou de débitmètre-ordinateur secondaire pour le contrôle de flux et l'affichage
Spectacle de produit










