Résolution |
5 nm (30 kV, se) |
Agrandissement |
20 x à 150 000 x |
Tension d'accélération |
1 à 30 kV |
Détecteur |
Détecteur se, détecteur ESB en option, EDS, etc |
Canon à électrons |
Cartouche de filament en tungstène précentrée |
Système d'objectif |
Objectif de mise au point : objectif à condensateur électromagnétique à 2 étapes Objectif objectif objectif : objectif électromagnétique à 1 étape |
Étape |
Système 3 axes, axe X, axe y : 35 mm / axe R : 360° Platine d'échantillonnage 5 axes en option : x:40 mm, y:40 mm, Z:40 mm, R:360°, T:0~90° |
Décalage de l'image |
Décalage de l'image X, y décalage de l'image (±150 μm) |
Diaphragmes de l'iris |
Diaphragmes à iris réglables (30/50/50/100 μm) |
Taille d'échantillon max |
80 mm de diamètre, 35 mm de hauteur |
Système de numérisation d'images |
Fast Scan:320*240 Slow Scan: 640*480 Mode photo 1:1280*960 mode photo 2:2560*1920 mode photo 3:5120*3840 |
Fonction automatique |
Démarrage automatique, mise au point automatique, luminosité/contraste automatique |
Format d'image |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
Affichage des données d'image |
Agrandissement,Type de détecteur,tension d'accélération,mode vide,logo(texte),Date et heure,marqueur textuel,barre d'échelle |
Système de vide |
Mode vide élevé, pompe mécanique, pompe moléculaire, durée de vide : dans les 3 minutes |
Volume du périphérique |
460(L)*600(L)*950(H)MM |
Environnement de l'équipement |
Température : 15 ºC~30 ºC , humidité : 70 % ou moins Source d'alimentation : monophasé 100 à 240 V CA, 1 kW, 50 / 60 Hz |