Certificat: | CE |
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État: | Nouveau |
Personnalisé: | Personnalisé |
Paquet de Transport: | Wooden Crate |
Spécifications: | 1300*2100*1200mm |
Marque Déposée: | minder-hightech |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Les systèmes d'alimentation | Type d'alimentation | Puissance hyperfréquence |
L'alimentation | 0~1250W | |
Fréquence | 2,45GHz | |
Le système de vide | En deux étapes de la pompe rotative à ailettes (pompe à huile) | 60m3/h(pompe à vide en option) |
Ligne de vide | Tous les tuyaux en acier inoxydable, et des soufflets de vide à haute résistance | |
Matériel | Alliage d'aluminium (personnalisés) de la cavité en acier inoxydable | |
Épaisseur | 25mm | |
Serrage | Grade joint soudé | |
La taille de la chambre intérieure | 450×450×450mm(W×H×D) | |
Espace de travail | Les sections 6 magazine | |
ECR | Magazine fendu et fournit des ECR le traitement amélioré | |
La rotation du bac | Tiroir de commande de rotation fluide magnétique | |
Système de gaz | Plage de débit | 0~300SCCM |
Circuit de gaz de processus | Deux voies standard CF4 gazeux en option |
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Système de contrôle | Contrôle du système | PLC |
Mode interactif | 7 pouces à écran tactile | |
Autres spécifications | Taille de la machine | 1300×2100×1200mm(W×H×D) |
Poids | 250 kg | |
La couleur | Gris argent |
Spécifications d'alimentation CA | Alimentation:AC380V,50/60 Hz,5-wire,50A |
D'ÉCHAPPEMENT en usine | Le débit :2,0 m³/min |
Exigences en matière de travail en usine à gaz | Le débit:1 à 10 L/min La pression :3~7 kg/cm² Le diamètre du tuyau :6×4 mm Matériau du tube :PU La pureté :99,99 % au-dessus |
Exigences en matière d'air comprimé en usine | Le débit:1 à 10 L/min La pression :3~7 kg/cm² Le diamètre du tuyau :de 8 × 5 mm Matériau du tube :PU Du point de rosée :-40ºCbelow Particule>0.3μm:10pcs/ft³ |
Les signes de danger | Signe de danger haute tension |
Utiliser l'environnement | La température :15~30ºC L'humidité :30~70% |
Autres considérations | Pas de gaz inflammable, corrosif, de gaz explosifs ou la poussière de réactif Les cylindres doivent être fixés |
No. | Nom | Description | Unité | Qté |
1 | L'hôte | La dimension:1300×2100×1200mm(W×H×D) | Définir | 1 |
2 | La chambre à vide | La chambre à vide La taille intérieure 450×450×450mm(W×H×D) |
Définir | 1 |
3 | Puissance d'excitation | Microwave plasma | Définir | 1 |
Fréquence:2,45GHz 0~1250W de puissance |
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4 | PLC | Siemens, Allemagne,S7-200 | Pcs | 1 |
5 | Écran tactile | MCGS, Sept-pouces écran | Pcs | 1 |
6 | Le débitmètre | WAWICK | Pcs | 2 |
7 | Jeu de la pompe à vide | En deux étapes de la pompe rotative à ailettes (pompe à huile):60m3/h | Définir | 1 |
8 | Jauge de vide | INFICON | Pcs | 1 |
9 | Manuel | Manuel de fonctionnement du vide Microwave plasma Cleaner SPMV-100H | Définir | 1 |
Le point | Le contenu d'inspection | La vie | La fréquence des inspections |
Pompe à huile | Élément de filtre | Temps d'utilisation 2000H | 15-jour |
Huile de pompe | Temps d'utilisation 2000H | 15-jour |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées