Système de revêtement par pulvérisation magnétron multifonction de paillasse de laboratoire

• Personnalisation: Disponible
• Champ d'application: Aérospatiale, Automobile, Électronique, Marin, Dispositifs médicaux, Pétrole et gaz, Production d'électricité, Chemins de fer
• Paquet de Transport: boîtier en bois
• N° de Modèle.: Made-to-order
• Spécifications: personnalisé
• Marque Déposée: rj
• Origine: Zhengzhou, China

Description de Produit

 

 

Le paramètre	La spécification
Matériel	Acier inoxydable
L'alimentation	Alimentation CC
Puissance nominale	3000W
Type	Système de revêtement
L'application	La recherche scientifique / les électrodes de la batterie
Modèle	Le DD-650MHT
Pompe Foreline	2 L/min (pompe rotative à ailettes)
Le vide absolu	5×10<sup>-5</sup>  Pa
Filtre à brumes d'huile	La cartouche du filtre
Dimensions	610×420×490 mm (W×D × H)
Le matériel de conditionnement	Coffret en bois
Structure de l'électrode	Planar
Le taux de fuite	<1,0×10<sup>-8</sup>  Pa·m³/s
La certification	CE
Fabrication sur mesure	Disponible
Configuration de cible	Dual-Cathode
Alimentation en option	Alimentation de puissance RF
Stade de l'échantillon	200mm stade rotatif
Le format cible	2 pouces
Système de refroidissement	Water-Cooled
Moniteur d'épaisseur	En option
La taille de chambre	Ø210×270 mm (dimensions internes)
Temps de Pompage	10 Pa → 3 Pa

Tableau de dimensions de l'unité principale

610mm (L) × 420 mm (W) × 490mm (H)

Spécifications de chambre de vide

• Chambre de métal hautes performances :

  • Dimensions externes : Ø260mm × H500mm

  • Dimensions internes : Ø210mm × H270mm

Cathode Dual-Target Advanced Configuration système :

Spécifications de cible	Détails
Le format cible	Ø50mm × 3 mm (épaisseur varie en fonction du matériau)
Cibles standard	Comprend un Ø50mm×3 mm + une cible d'acier Ø50mm×cible de 3mm en aluminium
Refroidissement cible	Modèles refroidis par eau
Le vide absolu	5×10<sup>-5</sup>  Pa (atteint 5×10<sup>-3</sup>  Pa en 10 minutes)
L'alimentation	Alimentation DC Constant-Current : - Entrée : 220V AC - Sortie : 0-600V, 0-1.6A Alimentation RF & responsable du jumelage : 500W

Stade de substrat

• Diamètre généreux : 200 mm.

Système de gaz

• Gaz de procédé de flexibilité: Adapte Ar ou autres gaz inertes (fourni par l'utilisateur et le régulateur de vérin requis)

• Gaz : la précision de contrôle automatisé de contrôle via l'électrovanne à commande manuelle du régulateur de débit

Système de refroidissement efficace

State-of-the-Art Self-Circulating chiller

La surveillance et contrôle

• Surveillance épaisseur en temps réel pour la précision de contrôle de revêtement

• Interface tactile conviviale

Capacités de revêtement complet

De multiples applications : alliage/conductrice ferroélectrique//Semiconductor/Céramique/Fluorure diélectrique/Optique/de/disque/films minces de PTFE

Spécifications électriques

• Tension fiable: 220V 50 Hz

• Puissance de démarrage : Robuste 3KW

Le DD-650MHT L'installation/environnement opérationnel

Exigences de l'emplacement :

1. Assurer le placement sur une table solide (minimum : 130 cm×60cm, la capacité de charge ≥ 200kg)

2. Position de la pompe rotative externe et le refroidisseur de manière optimale (plancher/adjacent à l'unité principale)

3. Poids total du système : Configurable 208-240kg. Nécessite une équipe de quatre personnes pour le transport.

4. Conditions de fonctionnement :

   • Plage de température idéale : 15-25 °C

   • Contrôle de l'humidité : ≤75 % HR

5. Fournir un service spécialisé de 220V, 16d'un disjoncteur à garantir un fonctionnement stable.

6. Assurer une ventilation adéquate au sein de l'environnement de fonctionnement et de protéger l'instrument de lumière directe du soleil l'exposition à maintenir des performances optimales.

7. Bouteilles de gaz argon/l'hélium et régulateurs de pression doit être User-Provided pour utilisation polyvalente.