Parties de graphite EPI et MOCVD

• Type: Graphite Parts
• Composition: C
• Teneur en carbone: 99.9995
• Grade: Customization
• Formant Way: Graphite Isostatique
• Morphologie cristalline: Artificial Graphite
• Paquet de Transport: Wooden Case
• Marque Déposée: SIAMC
• Origine: China
• Code SH: 681519

Description de Produit

Les composants en graphite et les matériaux d'isolation de SIAMC sont largement utilisés dans les équipements épitaxiaux à semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés thermiques et mécaniques. Dans les processus de croissance épitaxiale, le graphite de haute pureté est utilisé pour les composants du réacteur à paroi chaude tels que le chauffage, le capteur, l'injecteur de gaz et la plaque de distribution de gaz. La faible teneur en impuretés des produits en graphite de SIAMC garantit une grande pureté du processus et réduit la production de particules pendant le traitement à haute température.
En outre, les matériaux d'isolation de SIAMC sont utilisés pour l'isolation et la préservation de la chaleur dans l'équipement épitaxial afin de maintenir une température élevée de procédé et de réduire la perte de chaleur. Ces matériaux possèdent d'excellentes propriétés d'isolation thermique et une résistance aux températures élevées, garantissant un fonctionnement stable et efficace de l'équipement.
Dans l'ensemble, les composants en graphite et les matériaux d'isolation de SIAMC jouent un rôle essentiel pour garantir la qualité et le rendement des processus de croissance épitaxiale, ce qui en fait des éléments essentiels à la fabrication des semi-conducteurs.