Transmetteur de pression à vide mks 631D11T8FHBB jauge à vide de seconde main
LAM797-800733-100Semiconductor débitmètre mks649B-32597Deuxime main Vérificateur de débit massique in situ haute précision
- PRODUITS
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- FONCTIONNALITÉS
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- RESSOURCES
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- CONTACTEZ-NOUS
Caractéristiques techniques
-
Précision de la vérification du débit massique
±1.0% de la valeur mesurée
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Plage de vérification du débit massique
5 - 3000 sccm (équivalent N2)
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Répétabilité
±0.5% de la valeur mesurée
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Reproductibilité
±0.3% de la valeur mesurée
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Plage de pression
100 Torr
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Précision de la pression
0.25 % de la lecture
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Pression d'épreuve
45 psia
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Pression d'éclatement
150 psig
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Pression d'alimentation en air pétumatique minimale
80 psig
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Pression d'alimentation en air péumatic maximale
100 psig
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Coefficient de température de plage
<0.002 % de la mesure/°C
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Temps de préchauffage
60 minutes
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Température de fonctionnement
10° à 40°C.
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Affichage de la température
0 - 100 °C.
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Précision de la température
± 2 °C.
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Résolution de température
0.1 °C.
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Humidité de stockage
0 à 95 % d'humidité relative sans condensation
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Température de stockage
-20° à 60°C.
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Interface de commande
DeviceNet : type de micro-connecteur DeviceNet 5 broches, EtherCAT : RJ-45 double (Comm.) M8 mâle 5 broches (PWR)
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Interface de diagnostic
Ethernet RJ-45 femelle
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Tension d'entrée
11 à 25 Vcc
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Raccord d'alimentation en gaz
8-VCR® femelle compatible Swagelok®, rotatif
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Raccord d'alimentation en dépression
Type mâle 8-VCR® compatible Swagelok®, rotatif
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Raccord d'alimentation pneumatique
tube à connexion rapide à impulsion de 1/8 pouces
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Intégrité des fuites externes
<1 x 10-9 scc/s HE
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Matériaux mouillés
316L SST passivé, Inconel, Incoloy
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Matériau de joint
316 SST nickelé
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Matériau du siège de soupape
PCTFE avec diaphragme Elgiloy®
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État de surface
<32 µ pouces Ra
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Dimensions
6.98 x 10.0 x 10.0 po
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Poids
23.9 lb
-
Conformité
CE
Brooksinstrument VDM300 réparation et vente lam796-055344R007
MKS MFVC-29886 MKS MFVC-34785 MKS MFVC-32497 MKS VODMB-26565 LAM 797-004456R005 MKS390100-YG 275071 392100-YE MKS-226A-29571 AMAT0190-50856 0190-51152 MKS649A12T51CAMR 1179A01922CR1AV-K MKS GE50A-30351
BROOKS MAINTENANCE contrôleur AUTOMATISATION 978-262-2900 (165463)
Débitmètre MKS SENTRY 1510 AERA EPV100-AW
ÉQUIPEMENT TEL entretien du débitmètre ckd tpr4-35-A100T-X0002
refroidissement
t
Fournir des accessoires pour les pompes à condensats et les cryotubes GM et SV.
Voici quelques-unes des pompes à froid et accessoires en vente (il y a encore beaucoup d'accessoires qui n'ont pas été téléchargés, veuillez appeler pour obtenir des conseils) :
SUR CARTE 8F CRYOPUMP AMAT ENDURA 8116143G001
CTI-TOR8
Interface Cryo-Torr 8135903G001
Contrôleur de vide Granville-Phillips n°
Baie haute capacité 15K
Kits de maintenance CTI
Ligne hélium AMAT 3400-01109 CTI 8043086G240
Jauge TC 8112105
Interface Cryo-Torr 8135903G001
| Nom du produit |
Transmetteur de pression à vide mks 631D11T8FHBB jauge à vide de seconde main |
| Consommation électrique courant de fonctionnement |
10v |
| Consommation électrique |
2w |
| Moyen |
azote |
Capteur de calibrateur de vide MKS TYPE670 690
722C01TCD2FJ jauge de vide électronique MKS jauge de vide 1TORR 4VCR
Maintenance et vente de l'instrument de brooksinstrument VDM300 lam796-055344R007
MKS MFVC-29886 MKS MFVC-34785 MKS MFVC-32497 MKS VODMB-26565 LAM 797-004456R005 MKS390100-YG 275071 392100-YE MKS-226A-29571 AMAT0190-50856 019 0-51152 MKS649A12T51CARM 1179A01922CR1AV-K MKS GE50A-30351
Entretien du contrôleur D'AUTOMATISATION BROOKS 978-262-2900(165463)
DÉBITMÈTRE MKS SENTRY 1510 AERA EPV100-AW
TEL équipement entretien débitmètre ckdtrp4-35-a100t-x0002
refroidissement
Température inférieure à 25 °C et pompe d'appui de 10,000 l/min ou plus utilisée.
La valeur est modifiée si elle est utilisée dans des conditions différentes
Données techniques
Série STP-iXA4506/vitesse de pompage par rapport à la pression d'entrée
EDwardsSTP-H1303C pompe moléculaire plus contrôleur SCU-800 en stock.
Jauges de convection fil-TECH CVG 101ga/101gb/1 aux Etats-Unis.
01GG
CONTRÔLEUR VAT APC (PM7)796-098290-002
Jauge de vide MKS 356004 YG-THORIBA VANNE nouvel débitmètre original 0190-36237
MKS 390521-3-YH-T-0018 jauge à vide Granville-Phillips débitmètre de gaz AMAT 0190-51152
Jauge à membrane Granville-Phillips 390628-0-YE-T 390B6636
MKS 390628-0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS GAUGE P/N:390628-0-YE-T 390628-0-YE-T 390B6636
LAM796-055344-005
caractéristique
Plage de débit : 3 slpm (vapeur d'eau déionisée)
Mesure directe de la vapeur d'eau avec une précision de débit ultra-élevée
Peut être directement connecté au système d'alimentation en eau déminéralisée du bâtiment d'usine.
Fonctionnement à basse température (état non surchauffé)
Conception optimale de l'égouttage et du drainage
Communication numérique EtherCAT
Brooks Expert support Tool (BEST) interface graphique utilisateur
Fournisseur Audité 
