Machine de revêtement de pulvérisation magnétron à vide et sous vide à programmation compacte avec RF Puissance

• Service après-vente: 12 mois
• Garantie: 12 mois
• Type: Ligne de Production de Revêtement
• Revêtement: Revêtement sous Vide
• Substrat: Acier
• Certificat: CE
• N° de Modèle.: TN-MSV300-II-RFRF-SS
• État: Nouveau
• mode de refroidissement: refroidissement par eau
• température de chauffage: max. 500 ºc
• vitesse de rotation: réglable de 1 à 20 tr/min
• taille du substrat: diamètre 185 mm
• chambre à vide: acier inoxydable
• Magnetron Sputtering Target Head: 2 Magnetron Sputtering Heads
• taille du plateau d′échantillonnage: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• vitesse de rotation: 1-20 Rpm (Adjustable)
• température de chauffage la plus élevée: 500 ºc
• précision du contrôle de la température: +/- 1.0 °c
• régulateur de débit de gaz: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• pompe à vide: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• circuit de refroidissement: 16 l/min
• Paquet de Transport: Fumigated Wooden Box
• Spécifications: 290mmx365mmx260mm
• Marque Déposée: TN
• Origine: Chine
• Code SH: 8486209000
• Capacité de Production: 200/Month

Description de Produit

Machine de revêtement par pulvérisation Magnetron à vide et à programmation compacte

 

Description du produit

Le cratère à pulvérisation de magnétron RF à double cible est un équipement de revêtement à pulvérisation de magnétron économique développé indépendamment par notre société. Il est standardisé, modulaire et personnalisable. Il existe des cibles magnétron de 1 pouce ou 2 pouces à choisir. Les clients peuvent choisir la cible en fonction de la taille du substrat à enduire. L'appareil est équipé de deux alimentations RF de 300 W. L'alimentation CC peut être utilisée pour la préparation de films métalliques et l'alimentation RF pour la préparation de non-métal. Les deux cibles peuvent répondre aux besoins de revêtements multiples ou multiples.

La machine de revêtement est équipée d'un débitmètre de masse haute précision à deux canaux. Si vous avez d'autres exigences, vous pouvez personnaliser le trajet du gaz d'un débitmètre massique à quatre canaux maximum pour répondre aux exigences de construction de l'environnement gazeux complexe. L'instrument est équipé de groupes de pompes turbomoléculaires avancés, le vide ultime est jusqu'à 1,0E-5Pa, et d'autres types de pompes moléculaires sont disponibles à l'achat. Le chemin de gaz de la pompe moléculaire est contrôlé par plusieurs électrovannes. Vous pouvez ouvrir la chambre pour prélever l'échantillon sans arrêter la pompe, ce qui améliore considérablement votre efficacité de travail. Ce produit peut être équipé d'un ordinateur industriel intégré pour contrôler le système. Dans le programme informatique, la plupart des fonctions telles que le contrôle de la pompe à vide et le contrôle de puissance de pulvérisation peuvent être réalisées, ce qui peut améliorer encore votre efficacité expérimentale.

Application de cratère de pulvérisation de magnétron RF à double cible :
Ce dispositif peut être utilisé pour la préparation de films minces ferromagnétiques monocouches ou multicouches, de films conducteurs, de films en alliage, de films semi-conducteurs, de films en céramique, Films diélectriques, films optiques, films d'oxyde, films durs, films en PTFE, et comme ça. Par rapport à un équipement similaire, le cratère à double cible magnétron est non seulement largement utilisé, mais il présente également les avantages d'une petite taille et d'une utilisation facile, et est un équipement idéal pour préparer des films de matériaux en laboratoire.

 

Paramètres du produit

Paramètres techniques du cratère de pulvérisation du magnétron DC à double cible :

ample scène	Taille	φ185mm	Précision du contrôle de la température	±1 ºC
	Température de chauffage	500 ºC max	Vitesse de rotation	réglable de 1 à 20 tr/min
Tête cible de pulvérisation du magnétron	Quantité	2"×2 (1", 2" en option)	Refroidisseur d'eau	Refroidisseur d'eau de circulation avec débit de 10 l/min
	Mode de refroidissement	Refroidissement par eau
Chambre à vide	Taille de la chambre	φ300mm×300 mm	Fenêtre de surveillance	φ100mm
	Matériau de la chambre	Acier inoxydable	Mode d'ouverture	Capot supérieur ouvert
Débitmètre massique	2 canaux ; plage de mesure 100 SCCM ; 100 SCCM (peut être personnalisé en fonction des besoins du client)
Système de vide	Modèle	CY-GZK103-A.	Interface de pompage	KF40
	Pompe moléculaire	CY-600	Interface d'échappement	KF16
	Pompe d'appui	pompe à palettes rotative	Mesure de vide	Jauge de vide composée
	Vide ultime	1,0E-5Pa	Alimentation	CA ; 220 V 50 / 60 Hz
	Débit de pompage	Pompe moléculaire: 600L/S   pompe rotative à palettes: 1.1L/S.    Performances de pompage de gaz complètes : vide jusqu'à 1,0E-3Pa en 20 minutes
Configuration de l'alimentation	Quantité	Alimentation RF×2	Puissance de sortie max	RF 300 W
Autres paramètres	Tension d'alimentation	220 V CA, 50 Hz	Taille totale	600 mm×650 mm×1280 mm
	Puissance totale	2,5KW	Poids total	Environ 300kg

 

 

FAQ

Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?

R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons notre propre équipe de conception et notre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.

Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?

R.  la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?

A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?

R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.

Q. Comment payer?

A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser la garantie commerciale Made-in-China.

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?

A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.

Pour plus de questions, veuillez nous contacter.

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