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Cratère magnétron cible unique de bureau avec tension de polarisation

Service après-vente: 12 mois
Garantie: 12 mois
Type: Ligne de Production de Revêtement
Revêtement: Revêtement sous Vide
Substrat: Acier
Certificat: CE

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Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées

Henan, Chine
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  • FAQ
Aperçu

Info de Base.

N° de Modèle.
TN-MSZ180PX-I-DC-Q
État
Nouveau
mode de refroidissement
refroidissement par eau
température de chauffage
max. 500 ºc
vitesse de rotation
réglable de 1 à 20 tr/min
taille du substrat
diamètre 185 mm
chambre à vide
acier inoxydable
Magnetron Sputtering Target Head
1 Magnetron Sputtering Heads
taille du plateau d′échantillonnage
100 mm
vitesse de rotation
1-20 Rpm (Adjustable)
température de chauffage la plus élevée
500 ºc
précision du contrôle de la température
+/- 1.0 °c
capacité de la tige
9l
pompe à vide
a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
circuit de refroidissement
10 l/min
Paquet de Transport
Fumigated Wooden Box
Spécifications
550*350*400
Marque Déposée
TN
Origine
Chine
Code SH
8486209000
Capacité de Production
200/Month

Description de Produit

Coater  magnétron  cible unique de bureau avec tension de polarisation

Description du produit

Cet équipement est un instrument de cratère à crachats magnétron à cible unique , qui peut être utilisé pour la préparation de couches minces métalliques générales.  En même temps, l'équipement est équipé d'une alimentation de polarisation, qui peut être utilisée pour le nettoyage du plasma avant pulvérisation et effort de polarisation pendant pulvérisation.  
Ce cratère à crachats magnétron à cible unique est équipé d'une cavité en acier inoxydable à vide élevé, la cavité est équipée d'un déflecteur de fenêtre d'observation en quartz, facile à observer et à enregistrer l'expérience ; la conception de la cavité avec d'excellentes performances de vide et une forme réduite la rend très adaptée à une utilisation en laboratoire. En même temps, l'équipement est équipé d'une table d'échantillonnage chauffante rotative, qui peut améliorer efficacement l'uniformité et la qualité du film. La machine adopte une conception modulaire, une logique de fonctionnement simple, une interface de fonctionnement intuitive, facile à démarrer.

Paramètres du produit
 
Nom du produit Coater  magnétron à cible unique de bureau avec tension de polarisation
Modèle de produit TN-MSZ180PX-I-DC-Q (tension de polarisation )
Condition d'installation 1,température de l'environnement de travail: 25ºC±15ºC,humidité: 55% HR±10% HR;
2,alimentation de l'équipement:220 V CA, 50 Hz, doit être bien mis à la terre;
3,puissance nominale : 1 000 w ;
4,Equipement pour gaz:la chambre d'équipement doit être remplie d'argon pour le nettoyage. Le client doit préparer de l'argon d'une pureté ≥ 99.99 %.
5,taille de la table requise : 600 mm×600 mm×850 mm, capacité de charge ≥ 50 kg ;
6,la position doit être bien ventilée et refroidie.
Indicateurs techniques
  1. Alimentation à pulvérisation:alimentation c.c. 300 W;tension de sortie maximale 600 V, courant limité Sortie 500 mA
  2. Cible magnétron : cible d'équilibre 2 pouces, déflecteur de couplage magnétique ;
  3. Alimentation de polarisation : tension de sortie < 1 000 V, type : alimentation c.c. à impulsions haute fréquence  
  4. Matériau cible adapté : φ50mm x 3 mm d'épaisseur
  5. Taille de la cavité :diamètre extérieur194,diamètre interieur186mm x hauteur 230mm
  6. Matériau de la cavité : acier inoxydable 304
  7. Table d'échantillons de chauffage rotatif:vitesse de rotation de 1 à 20 tr/min réglable en continu;température de chauffage maximale de 500 ºC, vitesse de chauffage minimale recommandée de 10 ºC/min, vitesse de chauffage maximale recommandée de 20 ºC/min
  8. Mode de refroidissement : la cible magnétique et la pompe moléculaire nécessitent de l'eau en circulation refroidisseur
  9. Machine de refroidissement par eau:volume du réservoir 9L, débit 10L/min
  10. Système d'alimentation en gaz:débitmètre massique, type d'argon gazeux, débit de 1 à 30 sccm (personnalisable)
  11. Précision du débitmètre : plage de mesure de ±1.5 %
  12. L'interface de pompage d'air de la chambre de vide est KF25
  13. L'interface d'admission d'air est un joint à double virole de 1/4 pouces
  14. L'écran tactile est un écran tactile couleur de 7 pouces
  15. Courant de pulvérisation réglable, valeur de courant de sécurité de pulvérisation et valeur de vide de sécurité réglables ;
  16.  protection de sécurité : surintensité, vide trop faible coupe automatiquement le courant de pulvérisation
  17. Vide ultime : 5e-4Pa(pompe moléculaire correspondante) ;
  18. La mesure de vide est la jauge de vide Parana, la plage est de :1 à 105 Pa
Remarque 1,la pulvérisation de magnétron a un vide de travail élevé, généralement à 2 Pa, et doit être utilisée avec la pompe moléculaire.  
2,pour obtenir un environnement exempt d'oxygène élevé, la chambre à vide doit être nettoyée au moins 3 fois avec un gaz inerte de haute pureté.
3,le crachat magnétron est sensible à l'admission d'air, de sorte que le débitmètre massique est nécessaire pour contrôler l'admission d'air
Accessoire en option
Moniteur d'épaisseur de film Résolution d'épaisseur de film : 0,0136Å(aluminium)
2,précision de l'épaisseur du film :±0.5%,elle dépend des conditions de traitement, notamment de la position du capteur, de la contrainte matérielle, de la température et de la densité  
3,vitesse de mesure:100ms-1s/fois,plage de mesure pouvant être définie :500000Å(aluminium)
4,cristal de capteur standard :6 MHz
5, convient pour la fréquence de galette :6 MHz
Convient pour la taille de plaquette :Φ14mm
Bride de montage : CF35
Un autre accessoire 1 jeu de pompes moléculaires hautes performances série CY-CZK103 (avec jauge de vide composite, plage de mesure 10-5Pa~105Pa)petit jeu de pompes moléculaires série CY-GZK60 (avec jauge de vide composite, plage de mesure 10-5Pa~102 Pa)
Pompe à vide rotative à palettes bipolaires VRD-4
2,KF25 soufflets de vide ; la longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou 1,5 M. Support de serrage KF40
3,oscillateur à quartz pour compteur d'épaisseur de film.
Photos détaillées

 

Desktop Single Target Magnetron Sputtering Coater with Bias VoltageDesktop Single Target Magnetron Sputtering Coater with Bias Voltage

 
FAQ

Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?

R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons notre propre équipe de conception et notre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.

Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?

R.  la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?

A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?

R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.

Q. Comment payer?

A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser la garantie commerciale Made-in-China.

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?

A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.

Pour plus de questions, veuillez nous contacter.

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Merci pour vos efforts pour faire du monde meilleur!
Pour toute question concernant notre tour de coteron, veuillez nous contacter.

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Fabricant/Usine
Produits Principaux
Evaporation Coater; Film Coater
Nombre d'Employés
13