Double cible, cratère magnétron et coater composite à évaporation thermique avec Alimentation CD et RF

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Type: Ligne de Production de Revêtement
• Revêtement: Revêtement sous Vide
• Substrat: Acier
• Certificat: CE
• N° de Modèle.: TN-MS500S-2TA1S
• État: Nouveau
• mode de refroidissement: refroidissement par eau
• température de chauffage: max. 500 ºc
• vitesse de rotation: réglable de 1 à 20 tr/min
• taille du substrat: diamètre 185 mm
• chambre à vide: acier inoxydable
• Magnetron Sputtering Target Head: 2 Magnetron Sputtering Heads
• taille du plateau d′échantillonnage: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• vitesse de rotation: 1-20 Rpm (Adjustable)
• température de chauffage la plus élevée: 500 ºc
• précision du contrôle de la température: +/- 1.0 °c
• régulateur de débit de gaz: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• pompe à vide: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• circuit de refroidissement: 16 l/min
• Paquet de Transport: Fumigated Wooden Box
• Spécifications: 290mmx365mmx260mm
• Marque Déposée: TN
• Origine: China
• Code SH: 8486209000
• Capacité de Production: 200/Month

Description de Produit

Double cible, cratère magnétron et coater composite d'évaporation thermique avec Alimentation CD et RF

Description du produit

La machine de revêtement deux en un à pulvérisation magnétron et à évaporation thermique peut être utilisée pour le revêtement de produits électroniques, de verre, d'échantillons en céramique, de métaux et autres échantillons, particulièrement adaptée à la préparation d'échantillons de laboratoire SEM (microscope électronique à balayage). L'équipement est principalement composé d'une chambre à vide en acier inoxydable, d'une cible de pulvérisation au magnétron, d'une source d'évaporation, table d'échantillonnage de chauffage rotatif, pompe à vide, jauge de mesure de vide, système d'admission d'air et système de commande.

Caractéristiques :

1. Fonctionnement de l'écran tactile, détection du compteur de contrôle de la température. L'interface de paramètres numériques et le mode de fonctionnement automatique offrent aux utilisateurs une excellente plate-forme de recherche et de développement ;
2. La chambre à vide est en acier inoxydable 304 avec fenêtre d'observation et déflecteur. Belle forme, fabrication fine, excellentes performances de vide. La bride d'étanchéité principale est la bride d'étanchéité à vide élevée de la série CF. Chaque interface de la chambre à vide est scellée avec une bague d'étanchéité en caoutchouc, qui offre d'excellentes performances de vide et peut garantir efficacement la qualité du revêtement ;
3. La cible est située au bas de la cavité et la cible est vers le haut. La table d'échantillonnage a la fonction de chauffage et de rotation, ce qui peut rendre l'effet de revêtement plus uniforme;
4. Le système d'acquisition de vide adopte un groupe de pompe à vide à deux étages. La  pompe d'appui est une pompe mécanique à vitesse de pompage élevée, qui peut réduire efficacement le temps de passage de la pression atmosphérique à la dépression basse. La pompe principale est une pompe moléculaire à turbine, qui a une vitesse de pompage élevée et une vitesse d'acquisition du vide plus rapide. Le système d'acquisition du vide global est propre et rapide.

Paramètres du produit

Modèle	TN-MS500S-2TA1S
Exemple de table	Taille	Ø 150 mm	Chauffage	≤500 ºC
	Vitesse de rotation	1-20r/min	Commande de température	±1 ºC
Tête de bec de pulvérisation magnétron	Quantité	2 pouces ×2	Mode de refroidissement	Refroidi par eau
Évaporation thermique	source de l'évaporateur	Panier en fil de tungstène	Temp. Max	1500ºC
	Thermocouple	Type S.
Chambre à vide	Taille	Ø 300 mm × 300 mm H	Fenêtre de surveillance	Ø 100 mm
	Matériau	304 SUS	Mode ouvert	Porte avant
Système de vide	Pompe mécanique	Pompe à palettes rotative	Interface d'extraction	KF16
	Pompage	1,1L/s.
	Pompe moléculaire	Pompe moléculaire turbo	Interface d'extraction	CF150
	Pompage	600 L/s	Interface d'échappement	KF40
	Jauge de vide	Jauge de résistance + jauge d'ionisation
	Degré de vide ultime	1,3x10-4Pa	Alimentation	CA ; 220 V 50 / 60 Hz
Alimentation du dispositif de coupe	Alimentation CC	1 jeu	Puissance de sortie	≤1000 W.
	Tension de sortie	≤600 W.	Temps de réponse	<5 ms
	Alimentation RF	1 jeu	Puissance de sortie	≤1000 W.
	Stabilité de puissance	≤5 W.
	Fréquence RF	13,56 MHz	Stabilité RF	±0.005 %
Jauge d'épaisseur de film	Résolution	±0,03 Hz	Précision	±0.5 %
	Limite supérieure de la plage	50000	Vitesse	100 à 1000 ms.
Système refroidi par eau	Volume du réservoir	9L	Débit	10 l/min
Système de gaz	Type de débitmètre	MFC(débitmètre massique)	Portée	200 cm
	Type de gaz	AR
Autre	Alimentation d'entrée	220 V CA, 50 Hz	Taille	1 400 x 750 x 1 300 mm
	Puissance totale	4 kw (hôte+pompe à vide)	Poids	295kg

Un nouveau plateau d'échantillons est disponible

Exemple	Taille	Pour diamètre d'échantillon max. 150 mm	Hauteur	70 mm réglable
	Vitesse de rotation	1 à 20 tr/min	Chauffage	0 À 500 ºC

Photos détaillées

 

 

Profil de l'entreprise

 

 

Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?

R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, disposant de notre propre équipe de conception et de notre usine avec une expérience technique mature, et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.

Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?

R.  la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?

A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?

R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.

Q. Comment payer?

A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser Made en Chine garantie commerciale.

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?

A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.

Pour plus de questions, veuillez nous contacter.