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Fournisseur Audité | Trois machines de revêtement de pulvérisation magnétron cible (Alimentation CC + alimentation RF) | ||
| Exemple tableau |
Mode de pulvérisation | Orientation de pulvérisation vers le haut, le plateau d'échantillonnage est situé au-dessus du cible de pulvérisation ; Porte-échantillon central à réglage supérieur, avec un obturateur |
| Porte-échantillon | φ150mm | |
| Précision du contrôle | ±1 ºC | |
| Plage de chauffage | Température ambiante env. 500 ºC | |
| Vitesse réglable | réglable de 1 à 20 tr/min | |
| Distance de base cible réglable |
La distance entre la cible et le substrat peut être de réglage électrique | |
| Magnétron pistolet cible |
Plan cible | Cible du plan circulaire |
| Vide de pulvérisation | 10 PA~0,2 Pa | |
| Diamètre cible | 50 à 50,8 mm | |
| Epaisseur cible | 2 à 5 mm Remarque : si la cible est un matériau magnétique (tel que Fe, Co, ni), l' épaisseur ne peut pas dépasser 1,5 mm et un pistolet à pulvérisation magnétique puissant est nécessaire, vous aurez besoin de frais supplémentaires. |
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| Tension d'isolation | > 2000V | |
| Quantité | 2 pouces*3;avec des volets pour chaque canon | |
| Spécifications des câbles | SL-16 | |
| Température cible de la tête | <=65 ºC | |
| Vide chambre |
Traitement de la paroi interne | Polissage électrolytique |
| Taille de la chambre | φ325mm * 500 mm | |
| Matériau de la chambre | acier inoxydable 304 | |
| Fenêtre d'observation | Fenêtre en quartz, diamètre φ100mm avec obturateur | |
| Méthode ouverte | Ouverture supérieure, support auxiliaire de vérin | |
| Système de contrôle des gaz |
Contrôle de débit | débitmètre massique unidirectionnel : Oxygène : plage 0 à 100 SCCM ou Argon : plage de 0 à 200 SCCM ou Azote : plage de 0 à 500 SCCM (Remarque : pour obtenir un environnement exempt d'oxygène plus élevé , le vide la chambre doit être nettoyée avec un gaz inerte de haute pureté au moins 3 fois.) |
| Type de gaz | Argon, azote, oxygène et autres gaz inertes | |
| Type de distributeur | Electrovanne | |
| État statique du distributeur | Normalement fermé | |
| Mesure de la linéarité | ±1.5% F.S | |
| Répétabilité de la mesure | ±0.2% F.S | |
| Mesure du temps de réponse | ≤ 8 secondes (T95) | |
| Plage de pression de service | 0,3 MPa | |
| Pression du corps de soupape | 3 MPa | |
| Température de fonctionnement | (5 À 45 °C) | |
| Matériau du corps | Acier inoxydable 316L | |
| Taux de fuite du corps de soupape | 1×10-8Pa.m3/s. | |
| Joints de tuyauterie | 1/4″raccord de compression | |
| Signal d'entrée et de sortie | 0 À 5 V. | |
| Alimentation | ±15 V (±5 %) (+15 V 50 mA, -15 V 200 mA) | |
| Dimensions hors tout (mm) | 130 (largeur) × 102 (hauteur) × 28 (épaisseur) | |
| Interface de communication | Protocole MODBUS RS485 | |
| Alimentation CC | Alimentation | 500 W. |
| Tension de sortie | 0 À 600 V. | |
| Courant de sortie maximum | 1A | |
| Longueur de calage | 65000 S | |
| Heure de début | 1 À 10 S | |
| Quantité | 2 jeux | |
| Puissance RF alimentation |
Alimentation | 500 W. |
| Plage de puissance de sortie | 0W-500W, avec comparaison automatique | |
| Puissance réfléchie maximale | 100 W. | |
| Fréquence RF | 13,56 MHz +/-0.005% de stabilité | |
| Stabilité de puissance | ≤5 W. | |
| Composant harmonique | moins de -50dbc | |
| Quantité | 1 jeu | |
Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?
R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, disposant de notre propre équipe de conception et de notre usine avec une expérience technique mature, et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.
Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?
R. la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.
Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?
R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.
Q. Comment payer?
A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser la garantie commerciale Made-in-China.
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.
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