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Fournisseur Audité Grand système de revêtement par évaporation à faisceau d'électrons à un seul canon pour le dépôt de film diélectrique
Évaporation du faisceau d'électrons (faisceau électronique) -- VUE D'ENSEMBLE
Pendant un processus d'évaporation par faisceau électronique, le courant passe d'abord par un filament de tungstène qui conduit à un chauffage en joules et à une émission d'électrons. Une haute tension est appliquée entre le filament et le foyer pour accélérer ces électrons libérés vers le creuset contenant le matériau à déposer. Un champ magnétique puissant concentre les électrons dans un faisceau unifié ; à l'arrivée, l'énergie de ce faisceau d'électrons est transférée au matériau de dépôt, ce qui entraîne son évaporation (ou sa sublimation) et son dépôt sur le substrat. L'ajout d'une pression partielle de gaz réactif, comme l'oxygène ou l'azote, dans la chambre pendant l'évaporation peut être utilisé pour déposer de nouveau des films non métalliques.
L'évaporation par faisceau d'électrons présente de nombreux avantages par rapport à l'évaporation thermique résistive. Tout d'abord, la source de faisceau électronique est capable de chauffer des matériaux à des températures beaucoup plus élevées que ce qui est possible à l'aide d'un chauffe-bateau ou d'un creuset résistif. Cela permet des taux de dépôt très élevés et l'évaporation de matériaux à haute température et de métaux réfractaires tels que le tungstène, le tantale ou le graphite. Deuxièmement, les films déposés par évaporation du faisceau d'électrons peuvent mieux maintenir la pureté du matériau source; le refroidissement par eau du creuset limite étroitement l'échauffement du faisceau d'électrons à la seule zone occupée par le matériau source, éliminant ainsi toute contamination indésirable des composants voisins. Enfin, les sources d'évaporation par faisceau d'électrons sont disponibles dans une variété de tailles et de configurations, y compris des poches simples ou multiples. L'indexation de poche à l'aide d'un carrousel motorisé permet à une source de déposer de nombreux matériaux à partir d'un emplacement source unique.Spécifications du système de revêtement par faisceau d'électrons :
| Nom du produit | Machine de revêtement par évaporation à faisceau d'électrons |
| Modèle du produit | TN-EBH500-SS |
| État de service | La température ambiante variait de 5 à 40 ºC |
| Source | Triphasé 380 V. |
| Tension | 220 V 50 HZ |
| Puissance | <20 kW |
| Jauge d'eau | <2,5 bar |
| Surveillance de la couche plaquée | Avec le moniteur d'épaisseur de membrane SQM160, l'inhomogénéité de l'épaisseur de revêtement est inférieure à 6 %. |
| Lampe de chauffage | Quatre lampes de chauffage halogènes ont été utilisées pour le dégazage et une lampe au néon pour l'éclairage |
| L'interface de l'électrode | Avec une interface d'électrode d'évaporation métallique à 2 voies, sauvegarde |
| Système de refroidissement par eau | Surveillance de la pression de l'eau |
| Fenêtre d'observation | 100 mm de diamètre, avec verre filtrant |
| Système de commande | Système à écran tactile |
| Dimensions de la chambre à vide | Dimensions de la chambre d'évaporation : φ 500 * H500mm |
| Canon à électrons | Nouveau pistolet électronique, creuset à 6 trous |
| Plateau tournant d'échantillon | Taille de l'échantillon : <150 mm, la table d'échantillonnage peut pivoter, la surface de la table d'échantillonnage et la distance de la surface du canon à électrons peuvent être réglées vers le haut et vers le bas, la distance de réglage est comprise entre 200 mm et 250 mm, la table d'échantillonnage peut être chauffée, la température de chauffage est < 500 °C. |
| Degré de vide du système | A. vide limite : cuisson de 12 à 24 heures, pompage continu, vide inférieur à 5x10-5Pa B. taux d'extraction : un vide <5x10 en 40 minutes, à partir de l'atmosphère-4Pa C. taux de fuite du système : après 12 heures d'arrêt, mesurer le degré de vide de la chambre à vide est <10 pA |
| L'unité de vide | FB1200 pompe moléculaire + VRD-16 pompe à étage avant + latérale vanne d'extraction + vanne de porte + vanne de coupure + composite vacuomètre + interface de surveillance du revêtement pour vacuomètre (veille) |
1. Nous avons un coater d'évaporation thermique avec 1/2/3/4/8... sources d'évaporation, peut évaporation métal et matière organique
2. Matériau de la chambre : quartz haute pureté--- vide faible, chambre SS304-- vide élevé
3. Le moniteur d'épaisseur de film est en option
4. Évaporation thermique, faisceau E, pulvérisation de magnétron dans une seule machine est disponible
5. Différents matériaux de source d'évaporation sont disponibles
6. Personnaliser le coater d'évaporation thermique selon votre procédé est disponible
Zhengzhou Tainuo film Materials Co., Ltd. Est une entreprise complète qui intègre la conception, la recherche et le développement, la production et la vente.
Les principaux produits de notre entreprise sont : le cratère de spin, le cratère d'évaporation thermique, le cratère de crapules de magnétron, le crapules de crapules de plasma, le crapules d'évaporation à faisceau E, Machine de revêtement laser à impulsions PLD, nettoyeur plasma, système CVD, système PECVD, machine de découpe de fil diamant, four de fusion/poêle, four de fusion à arc, etc
Nos produits sont largement utilisés dans le domaine de la recherche en sciences des matériaux. Nous avons une vaste coopération avec des universités, des laboratoires et des entreprises de nouveaux matériaux. Il a été exporté avec succès vers plus de 20 pays et régions, dont les États-Unis, le Royaume-Uni, l'Allemagne, la Russie, la Suisse, Le Canada, le Brésil, etc. Et ont établi des relations de coopération à long terme avec les concessionnaires locaux.
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Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
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