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Fournisseur Audité PVD Coating machine de revêtement par pulvérisation Magnetron pour film Wafer Revêtement
PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
1. Le coater à crachats de magnétron à triple cible est un équipement de revêtement de crachats de magnétron économique. Il est standardisé, modulaire
et personnalisable.
2. Il y a des cibles magnétron de 1 pouce, 2 pouces et 3 pouces. Vous pouvez choisir la cible en fonction de la taille du substrat
enduit.
3. Le cratère à crachats magnétron est équipé d'une puissance de 500 W CC et d'une puissance de 500 W RF. L'alimentation CC est utilisée pour le
Les matériaux conducteurs et la puissance RF sont utilisés pour les matériaux isolants. Puissance de 300 W à 1 000 W selon votre
exigences.
4. Le cratère de pulvérisation magnétron est équipé d'un débitmètre de masse haute précision à deux canaux. Les débitmètres de masse à quatre canaux sont de
disponible
5. Le cratère de pulvérisation magnétron est équipé d'une pompe turbo-moléculaire, et le vide ultime est jusqu'à 10E-5Pa, d'autres types
de pompes moléculaires sont disponibles à l'achat.
6. Le chemin du gaz de la pompe moléculaire est contrôlé par plusieurs électrovannes, vous pouvez ouvrir la chambre pour prélever l'échantillon sans
arrêt de la pompe.
7. Ce produit peut être équipé d'un ordinateur industriel intégré pour contrôler le système.
8. L'équipement est équipé d'un étage d'échantillon de vibration, qui peut tourner la poudre ou les particules sur lui irrégulièrement, assurez-vous que
la surface de toutes les particules peut être recouverte de film pendant le processus de revêtement. Il s'agit d'un équipement PVD spécialement conçu pour
échantillons granulaires.
Spécifications du cratère de pulvérisation du magnétron :
| Nom du produit | Triple cratère de pulvérisation magnétron Target | |
| Étape d'échantillonnage | Taille | Diam.150 mm |
| Température de chauffage | 500 ºC max | |
| Précision de la température | ±1 ºC | |
| Vitesse de rotation | réglable de 1 à 20 tr/min | |
| Tête de pulvérisation de magnétron | Quantité | 2 pouces*3 |
| Mode de refroidissement | Refroidissement par eau | |
| Refroidisseur d'eau | Refroidisseur d'eau de circulation avec débit de 10 l/min | |
| Chambre à vide | Taille de la chambre | Ø 300 mm×300 mm |
| Matériau de la chambre | Acier inoxydable | |
| Fenêtre de surveillance | Diam.100 mm | |
| Mode d'ouverture | Ouverture de porte avant | |
| Débitmètre massique | Canal unique ; 0 à 100 SCCM (peut être personnalisé en fonction des besoins du client) | |
| Système de vide | Modèle | TN-GZK103-A. |
| Pompe moléculaire | TN-600 | |
| Pompe d'appui | Pompe à palettes rotative | |
| Vide ultime | 1,0E-5Pa | |
| Interface de pompage | CF160 | |
| Interface d'échappement | KF40 | |
| Mesure de vide | Jauge de vide composée | |
| Alimentation | 220 V CA, 50 / 60 Hz | |
| Débit de pompage | Pompe moléculaire: 600L/S pompe rotative à palettes: 1.1L/S. Performances de pompage de gaz complètes : vide jusqu'à 1,0E-3Pa en 20 minutes |
|
| Puissance de pulvérisation | Quantité | Alimentation CC x2 Alimentation RF x1 |
| Puissance de sortie max | 500 W CC, 300 W RF | |
| Epaisseur du film | Mesureur d'épaisseur de film en quartz | |
| Autres paramètres | Tension d'alimentation | 220 V CA, 50 Hz |
| Puissance totale | 6 KW | |
| Taille totale | 1090*900*1250mm | |
| Poids total | Environ 360 kg | |
1. NOUS avons le macuter de pulvérisation de magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, 4 tagrst, etc. La cible peut être conçue en haut ou en bas de la chambre.
2. Une alimentation CC de 0 à 1 000 W ou une cible de puissance RF est disponible. La fonction de biais est facultative.
3. Taille cible : 1 pouce, 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces, etc
4. Une cible magnétique forte et une cible magnétique Pernanent sont facultatives.
5. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, E-Beam est disponible.
6. Service personnalisé toujours disponible!
Zhengzhou Tainuo film Materials Co., Ltd. Est une entreprise complète qui intègre la conception, la recherche et le développement, la production et la vente.
Les principaux produits de notre entreprise sont : le cratère de spin, le cratère d'évaporation thermique, le cratère de crapules de magnétron, le crapules de crapules de plasma, le crapules d'évaporation à faisceau E, Machine de revêtement laser à impulsions PLD, nettoyeur plasma, système CVD, système PECVD, machine de découpe de fil diamant, four de fusion/poêle, four de fusion à arc, etc
Nos produits sont largement utilisés dans le domaine de la recherche en sciences des matériaux. Nous avons une vaste coopération avec des universités, des laboratoires et des entreprises de nouveaux matériaux. Il a été exporté avec succès vers plus de 20 pays et régions, dont les États-Unis, le Royaume-Uni, l'Allemagne, la Russie, la Suisse, Le Canada, le Brésil, etc. Et ont établi des relations de coopération à long terme avec les concessionnaires locaux.
Si vous effectuez des recherches sur les matériaux, veuillez nous contacter et nous vous fournirons des services personnalisés pour rendre vos expériences de recherche plus fluides!
NOUS pouvons expédier le marouflage de magnétron par terre, par mer, par air, par express, peut également organiser le paquet et l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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