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Fournisseur Audité Four rotatif à tube PECVD
Ce produit est un système de dépôt de vapeur chimique rotatif amélioré au plasma (PECVD rotatif). Le tube du four adopte une conception à diamètre variable. Le diamètre du tube intermédiaire est relativement épais et il y a des cloisons de mélange, qui peuvent mélanger à plusieurs reprises de la poudre ou des particules avec la rotation du tube du four. Le tube de travail peut être tourné à 360° sans interruption via le contrôle de transmission mécanique, de sorte que les matériaux du tube puissent être agités et mélangés pour obtenir un effet de chauffage uniforme ; l'équipement est également équipé d'un générateur de plasma, qui est relié au tube du four par couplage inductif, et le plasma généré peut couvrir le tube du four efficacement, augmenter l'énergie d'activation des réactifs, réduire la température de réaction et améliorer l'efficacité de la réaction. L'équipement est équipé d'un débitmètre massique à trois voies et d'un dispositif de mélange de gaz, qui peut être utilisé pour faire passer une variété de gaz dans le tuyau. En même temps, l'équipement est équipé d'une pompe mécanique haute performance qui peut évacuer rapidement le tuyau du four pour passer sous vide ; la coopération de la pompe et du circuit de gaz peut obtenir un processus CVD plus important. Le dispositif rotatif est très adapté pour le revêtement et la modification continus des matériaux en poudre par la méthode CVD dans un environnement protégé par l'atmosphère.
| Four à tube à double zone de température | Modèle du produit | TN-PECVD60R-1200-Q. |
| Alimentation de l'équipement | 3 KW | |
| Matériau du tube du four | Quartz haute pureté | |
| Taille du tube du four | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm (tube hétéromorphe Quartz) | |
| Longueur de la chambre du four | 440mm | |
| Longueur de la zone de chauffage | 200 mm + 200 mm | |
| Température de fonctionnement | 0 À 150 ºC | |
| Température limite | 1200ºC | |
| Précision du contrôle de la température | ±1 ºC | |
| Type de thermocouple | Thermocouple de type K. | |
| Mode de contrôle de la température | Régulation de température à 30 segments, réglage automatique des paramètres PID | |
| Mode d'affichage | Ecran tactile LCD couleur HD | |
| Méthode d'étanchéité | bride à vide en acier inoxydable 304 | |
| Alimentation | CA : 220 V 50 / 60 Hz | |
| Vitesse de rotation | 0 à 13 tr/min | |
| Angle d'inclinaison | 0 à 35° | |
| débitmètre massique à 3 canaux | Modèle du produit | CY-3Z |
| Nombre de chemins de gaz | 3 canaux | |
| Type de débitmètre | Débitmètre massique | |
| Plage de mesure | Canal a : 0 à 100 SCcm ; canal B : 0 à 200 sccm ; canal C : 0 à 500 sccm | |
| Précision de mesure | ±1.5 % | |
| Différence de pression de service | 0.1 à 0,5 MPa | |
| Interface de pipeline | connecteur à embout de 1/4 pouces | |
| Alimentation | 220 V CA 50 / 60 Hz | |
| Système de vide | Pompe à vide | Pompe à palettes rotative à deux étages |
| Vitesse de pompage | 1,1L/s. | |
| Orifice de pompage | KF16 | |
| Pompe à vide ultime | 10E-1Pa | |
| Alimentation | 220 V CA 50 / 60 Hz | |
| Alimentation RF | Fréquence du signal | 13,56 MHz±0.005 % |
| Plage de puissance de sortie | 0 À 500 W. | |
| Puissance réfléchie maximale | 100 W. | |
| Interface de sortie RF | 50 Ω, type N, femelle | |
| Stabilité de puissance | ≤5 W. |
Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?
R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons leur propre équipe de conception et leur propre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.
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