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Fournisseur Audité Moniteur de taux de dépôt d'épaisseur de couche mince pour le cratère de pulvérisation de magnétron
Le TM106 est un capteur/moniteur d'épaisseur de haute précision pour le processus de dépôt de couches minces. Il est basé sur le principe que la masse d'un film déposé sur un cristal de quartz peut être mesurée en surveillant le changement de la fréquence d'oscillation du cristal. Si la densité du matériau déposé est connue, l'épaisseur peut être déterminée à une haute résolution de sub-Angstrom (0.037 Å pour cet équipement).
Le moniteur d'épaisseur de film est adapté pour mesurer l'épaisseur du revêtement sous vide, comme l'évaporation par résistance, l'évaporation par faisceau d'électrons, le craquage magnétron et le placage ionique. Grâce à l'écran tactile et à l'affichage numérique du tube, vous pouvez obtenir des données de dépôt complètes, en utilisant des équipements logiciels et matériels plus avancés, ce qui améliore encore la capacité d'antiinterférence de l'instrument.
Caractéristiques du moniteur d'épaisseur de film
Caractéristiques du moniteur d'épaisseur de film
| Fréquence du cristal | 6 MHz (cristal 2,5M 3M 5M 9M en option) |
| Mode d'affichage | 5 « écran tactile couleur + taux d'affichage du tube numérique et epaisseur du solide |
| Mode de fonctionnement | Écran tactile |
| Plage d'affichage de l'épaisseur | 0-99μ9999Å |
| Résolution d'affichage de l'épaisseur | 1 Å(aluminium) |
| Plage d'affichage du taux | 0-999,9 Å |
| Résolution d'affichage de débit | 0,1 Å/s. |
| Nombre de couches de revêtement | 99 |
| Entrée de sonde | 4 voies (choisissez une pour travailler) |
| Facteur outil | 0.01-99.99 |
| Stockage de matériaux | 257 types + 10 personnalisation |
| Communication | RS232/RS485 |
| Commande déflecteur / source | 2 jeux de contacts, atteignant la source d'évaporation/d'arrêt d'épaisseur |
| Affichage de revêtement | Courbe de taux / valeur |
| Temps de revêtement du circuit | 99 |
| Taille | 480×250×89 mm (2U 19") |
Nous pouvons expédier le générateur de RF plasma par mer, par air, par terre, par Express, peut également organiser l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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