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Fournisseur Audité Four CVD rotatif à trois zones de laboratoire avec système d'alimentation en poudre continue
Spécifications du four à tube CVD
| Four à deux tubes de zone de chauffage | Modèle du produit | TN-PE-HPCVD-50R-1100-Q | |
| Matériau du tube du four | Quartz haute pureté | ||
| Diamètre du tube | 50 mm | ||
| Longueur du tube du four | 1 200 mm | ||
| Longueur de la chambre du four | 440mm | ||
| Longueur de la zone de chauffage | 200 mm + 200 mm | ||
| Température de fonctionnement | 0 À 1 100 ºC | ||
| Précision du contrôle de la température | ±1 ºC | ||
| Mode de contrôle de la température | commande de température à 30 ou 50 segments | ||
| Mode d'affichage | Ecran tactile LCD couleur HD | ||
| Méthode d'étanchéité | bride à vide en acier inoxydable 304 | ||
| Alimentation | CA : 220 V 50 / 60 Hz 2,5 kw | ||
| Système de sortie RF | Plage de puissance | 0 à 500 W réglable | |
| fréquence de travail | 13,56 MHz + 0.005 % | ||
| Mode de travail | Sortie continue | ||
| Mode d'impédance correspondant | Il peut être assorti et la lueur est répartie uniformément dans le tube du four | ||
| Stabilité de puissance | ≤2 W. | ||
| Puissance réfléchie de fonctionnement normal | ≤3 W. | ||
| Puissance réfléchie amplifiée | ≤70 W. | ||
| Composant harmonique | ≤-50 dBc | ||
| Efficacité globale | ≥ 70 % | ||
| Facteur de puissance | ≥ 90 % | ||
| Tension/fréquence d'alimentation | Fréquence c.a. monophasée (187 V~153 V) 50 / 60 Hz | ||
| Mode de contrôle | Contrôle interne/ quantité analogique API/communication RS232/485 | ||
| Paramètres de protection de l'alimentation | Protection contre les surintensités CC, protection contre les surchauffes de l'amplificateur de puissance, protection contre la puissance réfléchie | ||
| Méthode de refroidissement | Refroidissement forcé à l'air | ||
| Zone de lueur | Sous AR, l'alimentation en fréquence radio et la bobine coopèrent avec la lueur pour remplir le tube du four | ||
| Bateau d'évaporation | Température de fonctionnement | 1300ºC | |
| Source d'évaporation | Panier en fil de tungstène, creuset conique en alumine en option | ||
| Thermocouple | Thermocouple de type S. | ||
| Courant de travail | ≤30 A. | ||
| Puissance max | 500 W. | ||
| Système d'alimentation en gaz | Débitmètre | Débitmètre massique à quatre canaux | |
| Plage de débit | Gamme MFC1 : 0 à 200 SCcm gamme MFC2 : 0 à 200 SCcm Gamme MFC3 : 0 à 500 SCcm gamme MFC4 : 0 à 500 SCcm Correspondant aux gaz H2, CH4, N2, AR. |
||
| Précision de mesure | ±1.5% F.S | ||
| Répétabilité | ±0.2%FS | ||
| Précision linéaire | ±1%F.S. | ||
| Temps de réponse | ≤4 s. | ||
| Pression de service | -0,15 Mpa~0,15 Mpa | ||
| Contrôle de débit | Commande à écran tactile LCD, affichage numérique, chaque canal de gaz contient une vanne à pointeau pour un contrôle individuel. | ||
| Interface d'admission | Il peut être connecté avec un diamètre externe de 1/4NPS ou 6 mm tuyau en acier inoxydable | ||
| Interface de sortie | Il peut être connecté avec un diamètre externe de 1/4NPS ou 6 mm tuyau en acier inoxydable | ||
| Méthode de connexion | Connecteur à double embout | ||
| Température de fonctionnement | 5 À 45 ºC | ||
| Prémélange de gaz | Équipé d'un dispositif de prémélange des gaz | ||
| Système d'échappement | Modèle du produit | TN-GZK103-A. | |
| Pompe moléculaire | Pompe turbomoléculaire | ||
| Pompe d'appui | Pompe rotative à palettes à deux étages | ||
| Débit de pompage | Pompe moléculaire: 600L/S. | Performances de pompage complètes : 30 minutes de vide peut atteindre 5×10E-3Pa | |
| Pompe à palettes rotatives: 1,1L/S. | |||
| Vide ultime | 5×10E-4Pa | ||
| Orifice de pompage | KF40 | ||
| Interface d'échappement | KF16 | ||
| Mesure de vide | Jauge de vide composée | ||
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2. Four à tubes (température) :1200C, 1400C, 1600C, température personnalisée disponible.
3. Four à tubes (zone de chauffage) :zone unique, zone double, zone triple, personnalisé le nombre de zones de chauffage est disponible.
4. Matériau du tube : quartz, corindon, alliage et autre matériau du tube est personnalisable.
5. Le tube de diamètre et de longueur différents est personnalisable.
6. Générateur de plasma : 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, et d'autres puissances de générateur de plasma est personnalisable.
7. Débitmètre : un débitmètre à 1 ou 3 canaux ou un débitmètre à canaux multiples est disponible en option en fonction de votre processus.
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