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Fournisseur Audité Triple Target système de revêtement de pulvérisation sous vide Magnetron avec épaisseur de film Détecteur
PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Caractéristiques du cratère de pulvérisation de magnétron :
1. Le coater à crachats de magnétron à triple cible est un équipement de revêtement de crachats de magnétron économique. Il est standardisé, modulaire et personnalisable.
2. Il y a des cibles magnétron de 1 pouce, 2 pouces et 3 pouces. Vous pouvez choisir la cible en fonction du format du substrat à enduire.
3. Le cratère à crachats magnétron est équipé d'une puissance de 500 W CC et d'une puissance de 500 W RF. La puissance CC est utilisée pour les matériaux de conductrive et la puissance RF est utilisée pour les matériaux isolants. Puissance de 300 W à 1 000 W selon vos besoins.
4. Le cratère de pulvérisation magnétron est équipé d'un débitmètre de masse haute précision à deux canaux. Les débitmètres de masse à quatre canaux sont de
disponible
5. Le cratère de pulvérisation du magnétron est équipé d'une pompe turbo-moléculaire, et le vide ultime est jusqu'à 10E-5Pa, d'autres types de pompes moléculaires sont disponibles à l'achat.
6. Le chemin du gaz de la pompe moléculaire est contrôlé par plusieurs électrovannes, vous pouvez ouvrir la chambre pour prélever l'échantillon sans
arrêt de la pompe.
7. Ce produit peut être équipé d'un ordinateur industriel intégré pour contrôler le système.
Spécifications du cratère de pulvérisation du magnétron :
| Étape d'échantillonnage | Taille | Diam.150 mm |
| Température de chauffage | 900 ºC max | |
| Précision de la température | ±1 ºC | |
| Vitesse de rotation | réglable de 1 à 20 tr/min | |
| Tête de pulvérisation de magnétron | Quantité | 2"×3 (1", 2" en option) |
| Mode de refroidissement | Refroidissement par eau | |
| Refroidisseur d'eau | Refroidisseur d'eau de circulation avec débit de 10 l/min | |
| Chambre à vide | Taille de la chambre | Ø 300 mm×300 mm |
| Matériau de la chambre | Acier inoxydable | |
| Fenêtre de surveillance | Diam.100 mm | |
| Mode d'ouverture | Capot supérieur ouvert | |
| Débitmètre massique | 2 canaux ; plage de mesure 100 SCCM ; 100 SCCM (peut être personnalisé en fonction des besoins du client) | |
| Système de vide | Modèle | TN-GZK103-A. |
| Pompe moléculaire | 600 L/s | |
| Pompe d'appui | 1,1L/s. | |
| Vide ultime | 1,0E-5Pa | |
| Interface de pompage | CF160 | |
| Interface d'échappement | KF40 | |
| Mesure de vide | Jauge de vide composée | |
| Alimentation | CA ; 220 V 50 / 60 Hz | |
| Débit de pompage | Pompe moléculaire: 600L/S pompe rotative à palettes: 1.1L/S. Performances de pompage de gaz complètes : vide jusqu'à 1,0E-3Pa en 20 minutes |
|
| Configuration de l'alimentation | Quantité | Alimentation CC x2 Alimentation RF x1 |
| Puissance de sortie max | 500 W CC, 500 W RF | |
| Autres paramètres | Tension d'alimentation | 220 V CA, 50 Hz |
| Puissance totale | 4 KW | |
| Taille totale | 600 mm×650 mm×1280 mm | |
| Poids total | Environ 380 kg | |
1. Nous avons le cratère de pulvérisation du magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, 4 cibles, la cible peut être conçue en haut ou en bas de la chambre.
2. Une alimentation CC ou RF de 1 à 1 000 W est disponible. La fonction Bais est facultative
3. Un matériau cible différent est facultatif
4. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, faisceau électronique disponible
5. Le codeur de spitterign magnétron personnalisé est disponible
NOUS pouvons expédier le marouflage de magnétron par terre, par mer, par air, par express, peut également organiser le paquet et l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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