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L' équipement CVD à deux zones de chauffage à vide faible de 1 200 ºC avec débitmètre massique à 3 canaux se compose d'un four à tubes à deux zones de chauffage, d'un débitmètre à flotteur à trois canaux et d'une pompe à vide à palettes rotatives à double étage.
four à tubes
Les deux zones de chauffage du four à tubes de l'équipement CVD sont contrôlées indépendamment par l'instrument de contrôle de la température de précision. En réglant la température de chaque zone de température, le four à tube peut former deux gradients de température dans la zone de chauffage ou former une longue zone de température constante. Chaque zone peut être modifiée avec un programme de 30 sections de montée et de descente de température, avec protection contre la surchauffe et les courts-circuits. Les brides des deux côtés du tube du four sont équipées d'un manomètre à vide numérique et d'un manomètre mécanique, qui peuvent être utilisés pour contrôler l'atmosphère dans le tube du four. En même temps, le four à tubes est commandé par un écran tactile couleur haute définition, facile à utiliser. Même les non-professionnels peuvent maîtriser l'utilisation de l'instrument après une formation simple, ce qui peut considérablement améliorer l'efficacité de votre expérience.
débitmètre
L'équipement CVD est équipé d'un débitmètre de masse à trois canaux, qui a une haute précision et une grande fiabilité. Il peut mélanger avec précision 1 à 3 canaux de gaz. Le panneau de commande est doté d'un affichage numérique intuitif et efficace. Si vous avez des besoins particuliers, vous pouvez contacter le technicien pour personnaliser un nombre quelconque de canaux de gaz.
1 200 ºC application d'équipement CVD à vide faible deux zones :
Notre équipement CVD est adapté au frittage à haute température, au recuit des métaux, à l'inspection de qualité, etc. Dans les universités, les instituts de recherche, Entreprises industrielles et minières, en particulier pour les expériences CVD qui nécessitent une variété d'atmosphères de mélange de gaz.
four à tube uum | Modèle | CY- O1200-50IIT | |
Matériau du tube | Quartz haute pureté | ||
Diamètre du tube | 50 mm (en option 60 mm, 80 mm, 100 mm) | ||
Longueur du tube | 1 000 mm | ||
Longueur de la chambre du four | 440mm | ||
Longueur de la zone de chauffage | 200 mm + 200 mm | ||
Température de fonctionnement | 0 À 1 100 ºC | ||
Précision du contrôle de la température | ±1 ºC | ||
Mode de contrôle de la température | commande de température à 30 ou 50 segments | ||
Mode d'affichage | LCD | ||
Méthode d'étanchéité | bride à vide en acier inoxydable 304 | ||
Interface de bride | Connecteur à embout 1/4", joint KF16/25/40 | ||
Vide | 4,4E-3Pa | ||
Alimentation | CA : 220 V 50 / 60 Hz | ||
Système d'alimentation en gaz | Modèle | CY-3Z | |
Canal de gaz | 3 canaux | ||
Unité de mesure | Débitmètre massique de gaz | ||
Plage de mesure | Canal a : gaz H2 0~100 SCCM | Remarques : si vous avez besoin d'autres gammes ou types de gaz, vous devez préciser lors de la commande. Selon les exigences spécifiques du client, le débitmètre du type et de la plage de gaz correspondants peut être sélectionné. | |
Canal B : gaz N2 0~300 SCCM | |||
Canal C : gaz AR 0~500 SCCM | |||
précision de mesure | ±1.0% F.S | ||
Résistance de pression de tuyau | 3 MPa | ||
Différence de pression de service | 50 à 300 kPa | ||
Tuyau de raccordement | acier inoxydable 304 | ||
Canal de gaz | robinet à pointeau en acier inoxydable 304 | ||
Spécification de l'interface | connecteur à embout de 1/4" pour l'entrée et la sortie de gaz | ||
Système d'échappement | Pompe mécanique | Pompe à palettes rotative | |
Débit de pompage | 1,1L/S | ||
Interface d'échappement | KF16 | ||
Mesure de vide | Jauge de résistance | ||
Vide ultime | 1,0E-1Pa | ||
Alimentation | CA : 220 V 50 / 60 Hz | ||
Interface de pompage | KF16 |
Photos connexes de l'équipement CVD sous vide
Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?
R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons leur propre équipe de conception et leur propre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées