Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Mode Dimensions |
LH-800 | LH-1000 | LH-1250 |
800*1000mm | 1000*1000mm | 1000*1000mm | |
Mode de revêtement et configuration principale | Huit cibles multi-arc |
Dix cibles multi-arc |
Douze cibles multi-arc |
Source d'alimentation | Alimentation électrique à arc électrique, alimentation du filament, alimentation de polarisation à impulsion | ||
Contrôle des gaz de procédé | Débitmètre massique + vanne électromagnétique en céramique | ||
Structure de la chambre à vide | Porte à ouverture latérale verticale, postposition du système de pompe, double refroidissement par eau |
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Système de vide | Pompe à molécules +pompe Roots +pompe mécanique(5.0*10 -5 Pa) Pompe à diffusion +pompe Roots +pompe mécanique(5.0*10 -4 Pa) |
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Température de cuisson de la pièce | Température normale jusqu'à un contrôle PID à 350 degrés, chauffage par rayonnement. |
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Mode de mouvement de la pièce | Rotation publique contrôle de fréquence : 0-20 rotations par minute | ||
Mode de mesure | Affichage numérique jauge de vide composite : de l'atmosphère à 1.0*10 -5 Pa | ||
Mode de contrôle | Manuel/automatique/PC/PLC + HMI/PC quatre choix de mode de contrôle | ||
Remarque | Nous pouvons concevoir la dimension de l'équipement en fonction des exigences techniques spéciales du client. |
Contact: Sophia Guo
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